MEV Tescan MIRA3
Feixe de elétrons por emissão de campo (FEG)
MEV Jeol JSM5900
Filamento de tungstênio (W)
Assim como qualquer microscópio, a função primária do microscópio eletrônico de varredura (MEV) é ampliar pequenos recursos ou objetos que de outra forma seriam invisíveis à visão humana. Ele faz isso por meio do uso de feixe de elétrons em vez de luz, que é usada para formar imagens em microscópios de luz ótica. As imagens são obtidas por meio da varredura de um feixe de elétrons de alta energia na superfície da amostra, daí o nome de microscópio eletrônico de varredura. Em virtude de seu comprimento de onda menor, os elétrons são capazes de resolver características/detalhes mais finos de materiais em uma extensão muito maior em comparação com a luz óptica.
Um MEV moderno pode ampliar objetos em até um milhão de vezes seu tamanho original e pode resolver características menores que 1 nm em dimensão. Da mesma forma, a interação do feixe de elétrons com a amostra emite raios-X com energia única, que podem ser detectados através da técnica de EDS, determinando a composição elementar do material analisado. Os elétrons retroespalhados (BSE) são elétrons refletidos da amostra por espalhamento elástico. As imagens por BSE podem fornecer informações sobre a distribuição de diferentes elementos na amostra de acordo com seu número atômico.